| 論文出版・発表日 | |
|---|---|
| 論文名 | 磁場分布可変型対向スパッタによるニオブ薄膜の作製 |
| 著者 | 諸橋信一;升元佑一;田中浩三;碓井圭太;小松永治 |
| 掲載雑誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan |
| 学部・研究科名 | 理工学研究科 |
| 抄録 | |
| URL | http://ci.nii.ac.jp/naid/130000677370/ |
| 本サイトへの掲載日 | 2011-6-13 |
| 論文出版・発表日 | |
|---|---|
| 論文名 | 磁場分布可変型対向スパッタによるニオブ薄膜の作製 |
| 著者 | 諸橋信一;升元佑一;田中浩三;碓井圭太;小松永治 |
| 掲載雑誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan |
| 学部・研究科名 | 理工学研究科 |
| 抄録 | |
| URL | http://ci.nii.ac.jp/naid/130000677370/ |
| 本サイトへの掲載日 | 2011-6-13 |