論文出版・発表日 | |
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論文名 | 磁場分布可変型対向スパッタによるニオブ薄膜の作製 |
著者 | 諸橋信一;升元佑一;田中浩三;碓井圭太;小松永治 |
掲載雑誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan |
学部・研究科名 | 理工学研究科 |
抄録 | |
URL | http://ci.nii.ac.jp/naid/130000677370/ |
本サイトへの掲載日 | 2011-6-13 |
論文出版・発表日 | |
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論文名 | 磁場分布可変型対向スパッタによるニオブ薄膜の作製 |
著者 | 諸橋信一;升元佑一;田中浩三;碓井圭太;小松永治 |
掲載雑誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan |
学部・研究科名 | 理工学研究科 |
抄録 | |
URL | http://ci.nii.ac.jp/naid/130000677370/ |
本サイトへの掲載日 | 2011-6-13 |