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論文出版・発表日	2018.03.01
論文名	Amorphous gallium oxide grown by low-temperature PECVD
著者	Kobayashi, E., Boccard, M., Jeangros, Q., Rodkey, N., Vresilovic, D., Hessler-Wyser, A., Döbeli, M., Franta, D., De Wolf, S., Morales-Masis, M., Ballif, C.
掲載雑誌名	Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
学部・研究科名	理工学研究科
抄録
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本サイトへの掲載日	2018-3-28